赛力斯自动化科技有限公司

VPM-5传感器提供良好性能，并通过将可用的电导率真空测量仪的可用测量范围扩展到1-3年来建立了新标准技术，再加上新型的准确数字信号处理架构和创新测量算法。

• 超宽的测量范围为9年
• 通过S4-Connect USB程序员简化配置
• 0-10 VDC可编程电压输出
• 数字RS-232或RS485接口
• 稳定Zero漂移补偿
• 可选的固态设定点继电器用于过程控制

产地：丹麦

磁滞1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

滞后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

模拟输出分辨率：16位（150 µV）

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间（ISO 19685：2017）：<20 ms

温度补偿：+10至+50°C

固态继电器设定点范围：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

固态继电器接触评级：50 V，100 MARMS / MADC

环境条件:

操作环境温度：-20至+50°C

介质温度：-20至+50°C

存储环境温度：-40至+120°C

烘烤温度（非操作）：+120°C

安装位置：任意

湿度，IEC 68-2-38：98％，无调

电源:

电源电压：12-30 VDC

功耗：240 MW（max）

反极性保护：是

电压保护：是

内部保险丝：100 mA（可回收）

• 质谱仪
• 扫描电子显微镜
• 炉热处理
• 玻璃，光学，工具等的PVD涂层
• 制冷服务和制造
• 半导体处理