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NUMERIK JENA光栅尺Kit L2 vac,Kit L4 vac
线性编码器
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right
NUMERIK JENA光栅尺Kit L2 vac,Kit L4 vac
品 牌:
NUMERIK JENA
型 号:
Kit L2 vac,Kit L4 vac
技术资料:
UM_Kit_L_2021_en
阅读次数:
1101
产品介绍
Kit L系列直线光栅尺特别设计用于个性化的应用。该系列产品不仅拥有极小的尺寸,更提供配置能力。该系列产品几乎不限制设计师的设计自由。
性能特点
特殊真空版的Kit L2带EPIFLEX读数模块(2场扫描)
带EPIFLEX读数模块(2场扫描)
光栅尺部件满足真空度达10 E-6 mbar(UHV)的气压要求
1 Vpp或RS 422输出信号
多达100倍的细分信号
最小测量步距仅50 nm
运动速度达10 m/s(1 Vpp)
详细参数
Kit L2 vac
Kit L4 vac
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