激光位移/距离传感器
SIOS差分激光干涉仪SP 5000 DI
- 品 牌：SIOS
- 型 号：SP 5000 DI
-
技术资料：
SIOS_SP_DI_dt_kl
- 阅读次数：786
产品介绍
我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，可用于研发中的长期测量，例如 B. 在材料测试中使用。由于具有参考光束的结构，测量系统可以放置在距测量点更远的位置，而不会显着影响测量的分辨率和稳定性。干涉仪的长度分辨率为 5 pm，由于相同光束长度下测量系统的差分原理，在正常实验室条件下也可以实现。如果使用倾斜不变反射器进行测量，则长度测量的测量范围为几米。该系统具有模块化结构，因此可以适应测量任务。调整可以很容易地进行并且具有长期稳定性。基于 SP 5000 DI 干涉仪的多轴系统结构也支持多坐标测量。
性能特点
差分激光干涉仪可作为 OEM 版本作为编码器安装在机器轴上。 SP 5000 DI 可作为真空优化版本提供，用于在真空中进行测量。
标准光束间距为 21 毫米
技术参数
详细参数
位移测量范围：5 m
位移分辨率：5 pm
角度测量范围
带反射器：±12.5°
带平面镜（建议距离≤2m）：±1.5弧分
光束距离（标准）：21 mm
波长：632.8 nm
HeNe激光器的频率稳定性（预热时间之后）：2·10-8
HeNe激光器的预热时间：10 ... 20 min
工作温度范围：15 ... 30°C
测量反射镜的位移速度：max.3 m /s
传感器头和电子单元之间的电缆长度：3 m，max.10 m
电源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz
尺寸（长x宽x高）
传感器头（带基板）：150 x 140 x 43 mm
电子供应和评估单元（标准）：450 x 400 x 150 mm
电子供应和评估单元（紧凑）：250 x 400 x 150 mm
重量
感测头：2.0 kg
底盘：1.5 kg
津公网安备12010102000945号
