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空气过滤器/气体过滤器

ENTEGRIS空气过滤器CMP

产品介绍

CMP化学空气过滤器对 22 nm 及以下波长的各种空气分子污染物提供全面保护。保护工艺设备和晶圆免受空气分子污染的破坏性影响。

性能特点

  • 防止 22 nm 及以下的 AMC
  • 针对酸性污染物的平衡介质混合
  • 去除关键的酸、碱和有机物以降低污染风险

技术参数

详细参数

产品应用

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